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產品分類市面上最小的ALD,可放進手套箱,來自美國哈佛的原子層沉積系統(tǒng)$n兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,具有超快 MFC,用于集成惰性氣體吹掃。
勻膠機有很多種稱謂,英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關
CAM-C系列流延機面向較少資金投入的客戶設計,提供了更高的自動化水平,更高的精度和緊湊型設計,是一個真正創(chuàng)新型流延機
PICOSUN R-200 標準型ALD系統(tǒng),PICOSUN®R-200標準ALD系統(tǒng)適用于數(shù)十種應用的研發(fā),例如IC組件、MEMS器件、顯示器、LED、激光和3D對象,例如透鏡、光學器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物